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标题
Adsorption mechanism of dimeric Ga precursors in metalorganic chemical vapor deposition of gallium nitride
二聚体Ga前驱体在金属有机化学气相沉积氮化镓中的吸附机理
相关领域
金属有机气相外延 化学气相沉积 镓 氮化镓 热分解 吸附 分解 材料科学 反应性（心理学） 沉积（地质） 加合物 化学工程 化学 纳米技术 外延 物理化学 有机化学 图层（电子） 生物 医学 病理 替代医学 工程类 沉积物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002966
DOI
10.1116/6.0002966 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：H. Kim; Miso Kim; Bumsang Kim; Bonggeun Shong
出版日期：2023-10-31
求助人
wy 在 2025-12-03 20:50:38 发布自海南，悬赏 10 积分
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