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Ultrasensitive Pressure Sensor Based on an Integrated Circular Piezoelectric MEMS Resonator and Diaphragm Structure
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网址
https://doi.org/10.1109/lsens.2023.3326127
DOI
10.1109/lsens.2023.3326127 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Letters
作者：Praveen Kumar; D. Sahana; L. N. Chandrashekar; Antony Jeyaseelan; M. M. Nayak; et al
出版日期：2023-10-19
求助人
赫连海秋 在 2026-01-17 11:44:41 发布自青海，悬赏 10 积分
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