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 Ultrasensitive Pressure Sensor Based on an Integrated Circular Piezoelectric MEMS Resonator and Diaphragm Structure 相关领域
小型化
谐振器
材料科学
压力传感器
锆钛酸铅
微电子机械系统
振膜（声学）
压电
灵敏度（控制系统）
声学
巴（单位）
谐振器耦合系数
功勋
光电子学
制作
电子工程
振动
工程类
纳米技术
复合材料
铁电性
机械工程
物理
电介质
病理
气象学
替代医学
医学
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| 其它 |
期刊：IEEE Sensors Letters 作者：Praveen Kumar; D. Sahana; L. N. Chandrashekar; Antony Jeyaseelan; M. M. Nayak; et al 出版日期：2023-10-19 |
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