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 Atomic-scale study on nanoparticle removal mechanism during post-Cu CMP cleaning process using ReaxFF MD 相关领域
雷亚克夫
纳米颗粒
吸附
铜
化学机械平面化
分子
化学工程
柠檬酸
氢氧化铵
氢氧化物
无机化学
化学
离解（化学）
化学键
氢键
材料科学
水溶液
金属
粒子（生态学）
接触角
化学反应
表面改性
分子动力学
解吸
表面能
键裂
溶解
纳米技术
静电学
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