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 Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings 双喷头配置的计算流体动力学模拟：均匀大规模化学气相沉积SiC涂层的关键
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Rong Tu; Xin Liang; Qingfang Xu; Baifeng Ji; Qizhong Li; et al 出版日期：2025-10-27 |
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