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标题
Study on dielectric charging in low-stress silicon nitride with the MIS structure for reliable MEMS applications
用于可靠MEMS应用的MIS结构低应力氮化硅介质充电研究
相关领域
材料科学 电容感应 光电子学 电容 电介质 氮化硅 电压 微电子机械系统 执行机构 硅 电气工程 电极 化学 工程类 物理化学
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/21/12/125019
DOI
10.1088/0960-1317/21/12/125019 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Haisheng San; Zhiqiang Deng; Yuxi Yu; Gang Li; Xuyuan Chen
出版日期：2011-11-22
求助人
zz 在 2025-12-28 21:27:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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