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Investigation of the Young’s Modulus and the Residual Stress of 4H-SiC Circular Membranes on 4H-SiC Substrates |
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期刊:Micromachines 作者:Jaweb Ben Messaoud; Jean-François Michaud; Dominique Certon; Massimo Camarda; Nicolò Piluso; et al 出版日期:2019 |
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(2025-6-4)