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Investigation of a Single-Component Additive for Bottom-Up Superfilling of the High-Aspect-Ratio TSV by Theoretical and Experimental Studies
相关领域
材料科学 电镀(地质) 电镀 电化学 密度泛函理论 甲磺酸 化学工程 纳米技术 化学 电极 图层(电子) 计算化学 物理化学 物理 地球物理学 工程类
网址
DOI
10.1021/acs.jpcc.4c00989 doi
其它 期刊:Journal of Physical Chemistry C
作者:Lina Qiu; Zi-Hong Ni; Qiancheng Sun; Xin-Ping Qu; Qunjie Xu
出版日期:2024-06-15
求助人
JIRUIYI 在 2026-01-12 20:34:29 发布自广东,悬赏 10 积分
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