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 Germanium ion implantation to Improve Crystallinity during Solid Phase Epitaxy and the effect of AMU Contamination 固相外延过程中锗离子注入提高结晶度及AMU污染的影响
相关领域
锗
离子注入
结晶度
材料科学
薄脆饼
硅
分析化学（期刊）
砷
外延
光电子学
离子
化学
冶金
纳米技术
图层（电子）
复合材料
有机化学
色谱法
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期刊：AIP conference proceedings 作者：K. S. Lee; Daehan Yoo; Gil-Hwan Son; C.-H. Lee; Ju-Hee Noh; et al 出版日期：2006-01-01 |
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