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标题
Phase-gradient atomic layer deposition of TiO2 thin films by plasma-induced local crystallization
等离子体诱导局部晶化相梯度原子层沉积TiO2薄膜
相关领域
材料科学 原子层沉积 结晶 无定形固体 电介质 薄膜 制作 沉积（地质） 等离子体 图层（电子） 相（物质） 光电子学 复合材料 化学工程 纳米技术 结晶学 工程类 病理 古生物学 物理 生物 有机化学 化学 医学 量子力学 替代医学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.07.037
DOI
10.1016/j.ceramint.2021.07.037 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Dohyun Go; Jaehyeong Lee; Jeong Woo Shin; Sungje Lee; Wangu Kang; et al
出版日期：2021-07-05
求助人
WZ 在 2025-11-02 10:36:56 发布自福建，悬赏 10 积分
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