Line top loss and line top roughness characterizations of EUV resists

求助中

文献求助详情

标题	Line top loss and line top roughness characterizations of EUV resists 相关领域抵抗极紫外光刻材料科学临界尺寸光学表面光洁度表面粗糙度极端紫外线直线（几何图形）扫描电子显微镜邻近效应（电子束光刻）电子束光刻光电子学纳米技术物理激光器复合材料数学几何学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2551623
DOI	10.1117/12.2551623 doi
其它	期刊：作者：Daniel Schmidt; Karen Petrillo; Mary Breton; Jennifer Fullam; Seán Hand; et al 出版日期：2020-03-20
求助人	荟萃分析在 2025-10-27 10:56:57 发布自山西，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

International Society for Optics and Photonics (SPIE)

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
12小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:57:03 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:56:59 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献

10:56:57 已向机器人发送请求
12小时前

荟萃分析 Lv4 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: ding上传了应助文件

3秒前; 彭思元发布了新的文献求助10

3秒前; 杨佳酿完成签到，获得积分10

4秒前; 青黛完成签到，获得积分10

5秒前; 西瓜撞地球完成签到，获得积分10

7秒前; 皮卡皮卡发布了新的文献求助10

8秒前; Hello上传了应助文件

8秒前; 青黛发布了新的文献求助30

9秒前; 核桃发布了新的文献求助10

12秒前; yxc完成签到，获得积分10

13秒前; 杨佳酿发布了新的文献求助10

13秒前; 聪慧芸完成签到，获得积分10

14秒前; ，。上传了应助文件

16秒前; CodeCraft的应助被普鲁卡因采纳，获得10

16秒前; 所所上传了应助文件

17秒前; 唐泽雪穗上传了应助文件

17秒前; bkagyin的应助被焦焦采纳，获得10

18秒前; 米米在家里完成签到，获得积分10

19秒前; 专注的安青完成签到，获得积分10

21秒前; 保持好心情发布了新的文献求助50

22秒前; CodeCraft上传了应助文件

22秒前; yet完成签到，获得积分10

23秒前; 煜晟完成签到，获得积分10

24秒前; 快去吃蛋糕发布了新的文献求助10

26秒前; ding的应助被guard采纳，获得10

27秒前; 神内打工人完成签到，获得积分10

28秒前; 普鲁卡因发布了新的文献求助10

28秒前; 小蘑菇上传了应助文件

28秒前; Muhebbet发布了新的文献求助10

31秒前; Ava的应助被科研通管家采纳，获得10

33秒前; 上官若男的应助被科研通管家采纳，获得10

34秒前; 师兄的结果复现不出的应助被科研通管家采纳，获得20

34秒前; JamesPei的应助被科研通管家采纳，获得10

34秒前; 唐泽雪穗上传了应助文件

34秒前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

34秒前; 科研通管家关闭了desperter的文献求助

34秒前; AdventureChen发布了新的文献求助10

34秒前; 万能图书馆上传了应助文件

38秒前; 顾矜上传了应助文件

38秒前; 快去吃蛋糕完成签到，获得积分10

39秒前