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 Deep learning-based detection of mask rule check violations in curvilinear mask 基于深度学习的曲线掩模中掩模规则检查违规检测
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计算机科学
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期刊： 作者：Soo‐Yong Lee; Jeeyong Lee; Sinjeung Park; Byungjoon Kang; Juyun Park; et al 出版日期：2023-11-21 |
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