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标题
Enhanced thermal expansion with nanocrystalline Cu in SiO2 vias for hybrid bonding
用于混合键合的SiO2通孔中纳米晶Cu增强热膨胀
相关领域
热膨胀 纳米晶材料 材料科学 热的 铜 复合材料 工程物理 冶金 纳米技术 工程类 热力学 物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160784
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.160784 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Huai-En Lin; Dinh-Phuc Tran; Wei-Lan Chiu; Hsiang‐Hung Chang; Chih Chen
出版日期：2024-07-20
求助人
典雅的雪糕 在 2025-09-14 20:53:47 发布自河北，悬赏 10 积分
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