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标题
Experimental study on single crystal diamond CMP based on Fenton reaction and analysis of oxidation mechanism
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI
10.1016/j.mssp.2024.108739 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Ziyuan Luo; Jiabin Lu; Jun Zeng; Xinhan Wang; Qiusheng Yan
出版日期：2024-07-30
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王雪 在 2026-06-25 10:35:03 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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  • 1个月前，求助关闭

    王雪 王雪 Lv1 求助人 关闭了本次求助。

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  • 1个月前

    王雪 王雪 Lv1 求助人 发起了本次求助

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