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 Effects of Acetylene Flow Rate on Structure, Mechanical Properties, and Tribological Properties of Cr-CHx Coatings Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering 乙炔流量对射频磁控溅射Cr-CHx涂层结构、力学性能和摩擦学性能的影响
相关领域
材料科学
乙炔
涂层
溅射沉积
拉曼光谱
微观结构
摩擦学
扫描电子显微镜
溅射
体积流量
腔磁控管
复合材料
分析化学（期刊）
冶金
薄膜
纳米技术
光学
物理
有机化学
化学
量子力学
色谱法
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期刊：Journal of Materials Engineering and Performance 作者：Y.L. Su; W.H. Kao; G. Y. Chen 出版日期：2021-08-04 |
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