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 A Hybrid MEMS Microphone Combining Piezoelectric and Capacitive Transduction Mechanisms 相关领域
电容感应
转导（生物物理学）
微电子机械系统
话筒
压电
声学
材料科学
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生物
声压
生物物理学
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期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Yangyang Guan; Sina Sadeghpour; Chen Wang; Hemin Zhang; Sanjog Vilas Joshi; et al 出版日期：2025-01-01 |
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