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标题
Atomic Layer Etching of HfO2 Using Sequential, Self-Limiting Thermal Reactions with Sn(acac)2 and HF
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2.0041506jss/pdf
DOI
10.1149/2.0041506jss doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Younghee Lee; Jaime Dumont; S. George
出版日期：2015-01-01
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轻松的老鼠 在 2026-09-16 13:12:50 发布自安徽，悬赏 10 积分
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