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半导体行业含氟废水处理工艺研究进展与资源化利用技术
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摘要：半导体制造过程中产生的含氟废水具有高氟浓度、腐蚀性强、成分复杂等特点，是电子工业产废水的无害化处置难点。本文系统综述半导体行业含氟废水的特征来源、水质特性及处置技术现状，分析了处理工艺化学沉淀法、吸附法、膜分离技术、电化学法及组合工艺的研究进展，并探讨其资源化利用技术与零排放技术路径。探究表明，综合多级废水处置工艺、膜分离-蒸发结晶组合工艺及流化床结晶技术结合智能化管控是实现半导体含氟废水高效处理与资源化利用的关键技术方向。此为半导体行业绿色低碳发展提供技术支撑。 关键词： 含氟废水;半导体生产;氟资源回收;膜分离;化学沉淀; 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 环境科学与资源利用 分类号： X703 在线公开时间： 2026-08-04（知网平台在线公开时间，不代表文献的发表时间） |
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(2025-6-4)
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