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Atomic layer deposition of crystalline molybdenum trioxide and suboxide thin films using molybdenum(II) acetate dimer precursor
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网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0004240
DOI
10.1116/6.0004240 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Alexey Ganzhinov; Miika Mattinen; Kenichiro Mizohata; Mykhailo Chundak; Timo Hatanpää; et al
出版日期：2025-01-23
求助人
Abigail 在 2026-07-10 08:43:55 发布自福建，悬赏 10 积分
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