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 Controllable synthesis and characterization of spherical CeO2 abrasives for chemical mechanical polishing 相关领域
化学机械平面化
材料科学
抛光
扫描电子显微镜
化学工程
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化学反应
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期刊： 作者：Chao Fang; Guanghui Shi; Sibin Li; Xiaofeng Xie; Chenghao Liu; et al 出版日期：2026-04-24 |
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