已完结
  • 文献求助详情
标题
Reduction of Bubble-Induced Defect in Semiconductor Lithography Process
网址
DOI
10.1007/978-3-031-42532-5_38 doi
其它 期刊:Towards AI-Aided Invention and Innovation
作者:Kyoung-Whan Oh; Takashi Sasa; Seok Heo; Daejung Kim; Ouiserg Kim; Jung-Hyeon Kim
出版日期:2023
求助人
TianBa123 在 2026-06-18 16:55:11 发布自广东,悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
关注科研痛点,打通你的七经六脉
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
hz完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
zoiny完成签到 ,获得积分10
1秒前
爆米花应助如许采纳,获得10
2秒前
科研狗应助fancy采纳,获得100
2秒前
英俊001发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
自由恋风发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
Jane完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
香蕉觅云应助ale采纳,获得10
5秒前
HHHH发布了新的文献求助10
5秒前
刘一帆应助王大石采纳,获得10
5秒前
hyn完成签到,获得积分10
6秒前
快乐嚓茶完成签到,获得积分10
6秒前
小莫发布了新的文献求助10
6秒前
muyihong发布了新的文献求助10
6秒前
科研通AI6.4应助zxcvvbnm采纳,获得10
6秒前
tiptip完成签到,获得积分0
6秒前
6秒前
打打应助不语君子意采纳,获得10
7秒前
思甜完成签到,获得积分10
7秒前
幽默孤菱发布了新的文献求助10
7秒前
在水一方应助ma化疼没木采纳,获得10
8秒前
123完成签到,获得积分10
8秒前
liu发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
啦啦完成签到,获得积分10
8秒前
seraphmay发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
小二郎应助淡定雁玉采纳,获得10
9秒前
10秒前
永远完成签到,获得积分10
10秒前
优美初曼完成签到,获得积分10
10秒前
怡然芝麻完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
huyuan发布了新的文献求助10
10秒前
那L6完成签到,获得积分10
11秒前
XZY发布了新的文献求助10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Nondestructive Testing Handbook: Vol. 4, Thermal and Infrared Testing (IR), 4th ed 800
作者名:Kristopher P. Plain,悉尼大学的,目前只能查到其四篇论文,想找到其博士论文 590
Évora na Idade Média 555
Soil mites of the family Rhagidiidae (Actinedida: Eupodoidea). Morphology, Systematics, Ecology 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
Stratospheric Ozone: A Textbook 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7358973
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8969171
关于积分的说明 19061446
捐赠科研通 7005967
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3222747
关于科研通互助平台的介绍 2386751
邀请新用户注册赠送积分活动 2203613