Achieving an Ultra-Smooth Copper Surface with the Synergistic Effect of 1,2,4-triazole and Sodium Polyphosphate in Chemical Mechanical Polishing

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标题	Achieving an Ultra-Smooth Copper Surface with the Synergistic Effect of 1,2,4-triazole and Sodium Polyphosphate in Chemical Mechanical Polishing
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ae6821
DOI	10.1149/2162-8777/ae6821 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Hui Li; Yongshun Zhang; Liang Jiang; Yuting Wei; Liao Zhou; et al 出版日期：2026
求助人	嗯哼在 2026-05-12 21:56:32 发布自四川，悬赏 10 积分
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