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 Boron-doped amorphous carbon deposited by DC sputtering for a hardmask: Microstructure and dry etching properties 相关领域
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期刊：Applied Surface Science 作者：Sung‐Tae Kim; Ung-gi Kim; Jinseok Ryu; Do Kyun Kim; Miyoung Kim; et al 出版日期：2023-06-26 |
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