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标题
Impact of dry developing process on patterning performance of inorganic-organic hybrid thin films for all-dry EUV resist application
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3090806
DOI
10.1117/12.3090806 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII
作者：Thi Thu Huong Chu; Dan N. Le; Suyoung Yoo; Doo San Kim; Minjong Lee; et al
出版日期：2026-04-10
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樊珩 在 2026-09-30 00:11:44 发布自上海，悬赏 20 积分
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