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标题
Excellent reliability of ferroelectric HfZrOx free from wake-up and fatigue effects by NH3 plasma treatment
相关领域
锡 材料科学 分析化学（期刊） 物理 算法 立体化学 化学 计算机科学 有机化学 冶金
网址
http://dx.doi.org/10.23919/vlsic.2017.8008572
DOI
10.23919/vlsic.2017.8008572 doi
其它 期刊：2017 Symposium on VLSI Circuits
作者：Kuen-Yi Chen; Pin-Hsuan Chen; Yung-Hsien Wu
出版日期：2017-06-01
求助人
Jie 在 2026-10-20 10:23:47 发布自韩国，悬赏 10 积分
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