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 Lift-off patterning of thermoelectric thick films deposited by a thermally assisted sputtering method 热辅助溅射法沉积热电厚膜的剥离图案化
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期刊：Applied Physics Express 作者：Mizue Mizoshiri; Masashi Mikami; Kimihiro Ozaki; Mitsuhiro Shikida; Seiichi Hata 出版日期：2014-04-23 |
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