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  Study on the Hierarchical Predictive Control of Semiconductor Silicon Single Crystal Quality Based on the Soft Sensor Model 基于软测量模型的半导体硅单晶质量分级预测控制研究
相关领域
模型预测控制
软传感器
Crystal（编程语言）
质量（理念）
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过程控制
控制系统
过程（计算）
控制理论（社会学）
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控制（管理）
计算机科学
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操作系统
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期刊：Sensors 作者：Yin Wan; Ding Liu; Jun-Chao Ren; Shihai Wu 出版日期：2023-03-05 |
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