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标题
Distribution of trace impurities in microvolumes and analysis of concentration using laser sputtered neutral mass spectrometry
微量杂质在微体积中的分布及激光溅射中性质谱分析
相关领域
杂质 半导体 分析化学（期刊） 硅 质谱法 材料科学 小型化 激光器 飞秒 兴奋剂 化学 光电子学 光学 纳米技术 有机化学 物理 色谱法
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001244
DOI
10.1116/6.0001244 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Haruko Akutsu; Reiko Saito; Jun Asakawa; Kei Kiyokawa; Masato Morita; et al
出版日期：2021-10-06
求助人
One 在 2025-08-30 11:20:41 发布，悬赏 10 积分
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