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 Cl 在栅极氧化中的影响 相关领域
材料科学
草酰氯
氧化物
氯化物
金属
氧化态
硅
无机化学
化学工程
光电子学
冶金
化学
有机化学
工程类
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| 其它 | MRS 在线会议记录库 （OPL） ,第 477 卷 ， 1997 ， 89 |
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