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[求助补充材料]
 Proximity Effects of the Selective Atomic Layer Deposition of Cobalt on the Nanoscale: Implications for Interconnects 纳米尺度钴选择性原子层沉积的邻近效应：对互连的影响
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钴
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期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Michael Breeden; Victor Wang; Jacob Spiegelman; Ashay Anurag; Steven F. Wolf; et al 出版日期：2021-07-30 |
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