发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
<title>Diagnosis of microcrack initiation and estimation fracture toughness for micromachined silicon comb device with prenotch actuated by electrostatic force</title>
相关领域
材料科学 微电子机械系统 执行机构 半径 梳状致动器 刚度 表面微加工 断裂韧性 共振（粒子物理） 梁（结构） 声学 复合材料 结构工程 光电子学 计算机科学 电气工程 物理 制作 工程类 粒子物理学 病理 医学 计算机安全 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.395702
DOI
10.1117/12.395702 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Seho Lee; Jae Seung Kim; Y. Eugene Pak; Jong Up Jeon; Dongil Kwon
出版日期：2000-08-10
求助人
华仔 在 2025-10-13 20:57:41 发布自广东，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Microelectromechanical systems (MEMS): an overview of current state-of-the-art
  2. Optimal design and fabrication of MEMS rotary thermal actuators
  3. Design and Analysis of Planar and Lattice-Electrostatic Comb Drive Actuators
  4. Analysis of MEMS electrostatic comb drive with polysilicon as the structural material
  5. An Energy Harvester concept for electrostatic conversion manufactured in MEMS surface micromachining...
  6. Modern Silicon-based MEMS Technology
  7. 20pm1-F2 Polymer micromachining based on Si-MEMS technology
  8. Silicon Fabrication Techniques for MEMS
  9. MEMS Materials and Fabrication Techniques
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:57:43 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:57:41 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
    20:57:41 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    华仔 华仔 Lv12 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
李健的小迷弟的应助被morena采纳，获得10
28秒前
无风完成签到 ，获得积分10
34秒前
无风完成签到 ，获得积分10
51秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
52秒前
黄玉发布了新的文献求助10
57秒前
1分钟前
小张不哭发布了新的文献求助10
1分钟前
zoey完成签到，获得积分10
1分钟前
深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
852的应助被可爱的靖柏采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
2分钟前
2分钟前
隐形曼青的应助被小张不哭采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
小崔加油发布了新的文献求助10
2分钟前
瘦瘦的送终完成签到，获得积分10
2分钟前
科研通AI5的应助被小崔加油采纳，获得10
2分钟前
馆长的应助被皮卡丘采纳，获得50
2分钟前
天天天王完成签到，获得积分10
2分钟前
movoandy完成签到，获得积分10
2分钟前
野性的小懒虫完成签到，获得积分10
2分钟前
吗替麦考酚酯完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
3分钟前
3分钟前
小情绪的应助被野性的小懒虫采纳，获得20
3分钟前
VPN不好用完成签到，获得积分10
3分钟前
3分钟前
碳水化合物完成签到，获得积分10
3分钟前
路会飞完成签到，获得积分10
3分钟前
陈俐俐完成签到，获得积分10
3分钟前
nihao完成签到 ，获得积分10
4分钟前
神明完成签到 ，获得积分20
4分钟前
GingerF的应助被Puan采纳，获得100
4分钟前
4分钟前
5分钟前
zzcres发布了新的文献求助10
5分钟前
zzcres完成签到，获得积分10
5分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
SOFT MATTER SERIES Volume 22 Soft Matter in Foods 1000
Zur lokalen Geoidbestimmung aus terrestrischen Messungen vertikaler Schweregradienten 1000
Circulating tumor DNA from blood and cerebrospinal fluid in DLBCL: simultaneous evaluation of mutations, IG rearrangement, and IG clonality 500
Food Microbiology - An Introduction (5th Edition) 500
A Systemic-Functional Study of Language Choice in Singapore 400
Architectural Corrosion and Critical Infrastructure 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4869876
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4160681
关于积分的说明 12902034
捐赠科研通 3915622
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2150478
邀请新用户注册赠送积分活动 1168832
关于科研通互助平台的介绍 1071825
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通