Uniformly Tensile-strained Germanium Enabled by a Recessed Nitride Stressor for Efficient Integrated Photodetectors at Longer Wavelengths

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标题	Uniformly Tensile-strained Germanium Enabled by a Recessed Nitride Stressor for Efficient Integrated Photodetectors at Longer Wavelengths 相关领域材料科学光电探测器锗光电子学氮化物蚀刻（微加工）氮化硅波长极限抗拉强度硅复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/cleo_si.2019.sth4o.2
DOI	10.1364/cleo_si.2019.sth4o.2 doi
其它	期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics 作者：Yiding Lin; Danhao Ma; Rui‐Tao Wen; Kwang Hong Lee; Xin Guo; et al 出版日期：2019-01-01
求助人	冷酷的问晴在 2025-10-14 18:29:23 发布自江苏，悬赏 10 积分
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