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 Thermo-optical optimization of extreme-ultraviolet pellicles for future generations 下一代极紫外薄膜的热光学优化
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期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Eun‐Sang Park; Chung-Hyun Ban; Jae‐Hun Park; Hye-Keun Oh 出版日期：2017-12-29 |
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