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标题
Multi-coefficient eigenmode operation—breaking through 10°/h open-loop bias instability in wideband aluminum nitride piezoelectric BAW gyroscopes
宽带氮化铝压电BAW陀螺中多系数本征模工作突破10°/h开环偏置不稳定性
相关领域
压电 宽带 陀螺仪 氮化物 材料科学 声学 正常模式 铝 不稳定性 光电子学 压电系数 物理 振动 光学 纳米技术 复合材料 机械 图层（电子） 量子力学
网址
https://www.nature.com/articles/s41378-023-00486-3.pdf
AI链接 nature.com nature.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.1038/s41378-023-00486-3 doi
其它 期刊：Microsystems & Nanoengineering
作者：Zhenming Liu; Haoran Wen; Farrokh Ayazi
出版日期：2023-02-21
求助人
sugar 在 2025-12-19 18:26:31 发布自贵州，悬赏 10 积分
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