Effect of Bottom Electrode Annealing Temperature and Atmosphere on Endurance Characteristics of Ferroelectric Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 Capacitors

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标题	Effect of Bottom Electrode Annealing Temperature and Atmosphere on Endurance Characteristics of Ferroelectric Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 Capacitors 相关领域退火（玻璃）铁电性电容器材料科学电极大气（单位）光电子学电气工程冶金电压化学热力学电介质工程类物理物理化学
网址	https://doi.org/10.1109/LED.2025.3603933
DOI	10.1109/LED.2025.3603933 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Hyeonjung Park; Changwoo Han; Y. Choi; Man‐Sik Choi; Sangmin Won; et al 出版日期：2025-09-01
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