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标题
High Frequency MEMS Capacitive Mirror for Space Applications
用于空间应用的高频MEMS电容镜
相关领域
微电子机械系统 回复反射器 材料科学 电容感应 光学 制作 光电子学 变形镜 自由空间光通信 光通信 激光器 自适应光学 电气工程 工程类 物理 病理 医学 替代医学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/14/1/158/pdf?version=16736008...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi14010158 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Alvise Bagolini; Anže Sitar; L. Porcelli; M. Boscardin; S. Dell’Agnello; et al
出版日期：2023-01-08
求助人
bb 在 2025-12-23 14:55:50 发布自四川，悬赏 10 积分
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