Systematic DTCO flow for yield improvement at 14/12nm technology node

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标题	Systematic DTCO flow for yield improvement at 14/12nm technology node 提高14/12nm工艺节点产率的系统DTCO流程相关领域可制造性设计化学机械平面化设计流量平版印刷术标准电池过程（计算）模具（集成电路）计算机科学进程窗口炸薯条物理设计集成电路设计节点（物理）集成电路材料科学工程类嵌入式系统电路设计机械工程电气工程电信抛光操作系统结构工程光电子学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2551861
DOI	10.1117/12.2551861 doi
其它	期刊：作者：Xiaojing Su; Yayi Wei; Rui Chen; Yajuan Su; Lisong Dong; et al 出版日期：2020-03-23
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