发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
The role of etching gas purity in C4F8/Ar plasma to optimize SiO2 etching process
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793172...
DOI
10.1016/j.mee.2025.112353 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Anhan Liu; Shijun Yu; Shingo Nakamura; Akinari Sugiyama; Takashi Nishikawa; et al
出版日期：2025-05-02
求助人
霜幕 在 2026-01-29 18:23:31 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载
上个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 7个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

    说明 求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】

  • 7个月前

    霜幕 霜幕 Lv5 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
辛旭发布了新的文献求助10
刚刚
DW的应助被LaTeXer采纳，获得10
刚刚
1秒前
1秒前
1秒前
ym完成签到，获得积分10
2秒前
情怀的应助被edrfgh采纳，获得10
2秒前
我爱学习发布了新的文献求助10
3秒前
在水一方的应助被tony1102采纳，获得10
3秒前
4秒前
Samuel发布了新的文献求助30
4秒前
6秒前
嘉心糖的应助被木子采纳，获得100
6秒前
6秒前
静夜枫眠完成签到 ，获得积分10
7秒前
曼波发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
初景发布了新的文献求助10
8秒前
英姑的应助被lisheng采纳，获得10
10秒前
11秒前
打打的应助被tony1102采纳，获得10
12秒前
12秒前
wanci的应助被movoandy采纳，获得10
13秒前
14秒前
闪闪的绿兰完成签到，获得积分10
14秒前
whisky完成签到，获得积分10
14秒前
keyanzhang发布了新的文献求助10
15秒前
田様的应助被失眠的寄云采纳，获得10
15秒前
16秒前
你吴哥完成签到，获得积分10
16秒前
17秒前
namseok发布了新的文献求助10
17秒前
Owen的应助被科研大马采纳，获得10
17秒前
17秒前
18秒前
慕青的应助被洛莫采纳，获得10
18秒前
暴击香梨的鹅完成签到，获得积分10
18秒前
CodeCraft的应助被犹豫的大碗采纳，获得10
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The anomeric effect 1314
Principles of town planning: translating concepts to applications 1000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives 800
1 Peter and Christ's Descent to the Dead in Its Early Christian Reception 700
Organizational Behavior 510
Management and the Arts 510
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7736625
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9286259
关于积分的说明 20177000
捐赠科研通 7314616
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3305331
关于科研通互助平台的介绍 2457660
邀请新用户注册赠送积分活动 2314835
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通