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 Advances in silicon carbide science and technology at the micro- and nanoscales 微米和纳米级碳化硅科学和技术的进展
相关领域
微加工
纳米技术
碳化硅
材料科学
半导体器件制造
制作
工程物理
工程类
冶金
医学
替代医学
病理
薄脆饼
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| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Roya Maboudian; Carlo Carraro; Debbie G. Senesky; Christopher S. Roper 出版日期：2013-06-06 |
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