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标题
Slicing of 4H‐SiC Wafers Combining Ultrafast Laser Irradiation and Bandgap‐Selective Photo‐Electrochemical Exfoliation
超快激光辐照和带隙选择性光电化学剥离相结合的4H-SiC晶片切片
相关领域
材料科学 光电子学 飞秒 薄脆饼 带隙 蚀刻（微加工） 激光器 剥脱关节 无定形固体 辐照 碳化硅 晶片切割 钝化 图层（电子） 纳米技术 光学 复合材料 石墨烯 化学 物理 有机化学 核物理学
网址
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdfdirect/10.1002/admi.2...
DOI
10.1002/admi.202300200 doi
其它 期刊：Advanced Materials Interfaces
作者：Wenhao Geng; Qinqin Shao; Yan Pei; Lingbo Xu; Can Cui; et al
出版日期：2023-06-30
求助人
Ryan 在 2025-01-14 13:56:03 发布自北京，悬赏 10 积分
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