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Deposition of amorphous carbon nitride thin films using pressure-gradient RF magnetron sputtering and their chemical bonding structures
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网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2023.157677 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Masami Aono; Masami Terauchi; Yohei Sato; Kyoji Morita; T. Inoue; et al
出版日期:2023-06-05
求助人
清爽老九 在 2025-11-01 21:37:07 发布自河南,悬赏 10 积分
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