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Deposition of amorphous carbon nitride thin films using pressure-gradient RF magnetron sputtering and their chemical bonding structures 相关领域
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期刊:Applied Surface Science 作者:Masami Aono; Masami Terauchi; Yohei Sato; Kyoji Morita; T. Inoue; et al 出版日期:2023-06-05 |
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