Design of a vibration isolation platform for atomic force microscope based on flexural structure

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标题	Design of a vibration isolation platform for atomic force microscope based on flexural structure 基于弯曲结构的原子力显微镜隔振平台设计相关领域隔振振动抗弯强度刚度材料科学声学执行机构原子力显微镜光学结构工程纳米技术复合材料物理工程类电气工程
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2024.06.007
DOI	10.1016/j.precisioneng.2024.06.007 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Rui Lin; Yingzi Li; Jianqiang Qian; Peng Cheng; Xiao‐Dong Gao; et al 出版日期：2024-06-14
求助人	TAO 在 2025-08-27 08:27:52 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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