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 Microstructure, mechanical and tribological properties of Si and Al co-doped hydrogenated amorphous carbon films deposited at various bias voltages 不同偏压下Si和Al共掺杂氢化非晶碳薄膜的微观结构、力学和摩擦学性能
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Xiaoqiang Liu; Jun Yang; Junying Hao; Jianyun Zheng; Qiuyu Gong; et al 出版日期：2012-04-11 |
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