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 书籍（章节） Atomic Layer Deposition 原子层沉积
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10.1016/b978-0-12-812311-9.00011-6
Doi
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| 其它 |
期刊：Elsevier eBooks 作者：Triratna Muneshwar; Mengmeng Miao; Elham Rafie Borujeny; Ken Cadien 出版日期：2018-01-01 |
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