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标题
Three-degree-of-freedom optic mount for extreme ultraviolet lithography
用于极紫外光刻的三自由度光学支架
相关领域
平版印刷术 极紫外光刻 机制（生物学） 极端紫外线 光学 紫外线 学位（音乐） 计算机科学 物理 声学 量子力学 激光器
网址
https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc787111/m2/1...
DOI
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其它 期刊：
作者：Layton C. Hale; S. Juul Jensen; T. N. Malsbury; Jacob Parker; H Tajbakhsh
出版日期：1998-08-27
求助人
wwl 在 2025-05-12 14:54:07 发布自吉林，悬赏 10 积分
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