Effect of N2-H2 Remote Plasma Nitridation Temperature on Surface Properties of Te-Doped GaSb Crystals

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标题	Effect of N2-H2 Remote Plasma Nitridation Temperature on Surface Properties of Te-Doped GaSb Crystals N2-H2远程等离子体氮化温度对掺Te GaSb晶体表面性质的影响相关领域兴奋剂等离子体材料科学远程等离子体分析化学（期刊）光电子学化学环境化学化学气相沉积物理量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113580
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113580 doi
求助人	苹果在 2025-05-13 15:42:20 发布自浙江，悬赏 10 积分
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