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  Tantalum-Titanium Oxynitride Thin Films Deposited by DC Reactive Magnetron Co-Sputtering: Mechanical, Optical, and Electrical Characterization 直流反应磁控共溅射沉积钽-钛氧氮化物薄膜：机械、光学和电学表征
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期刊：Coatings 作者：Dan Cristea; Ioana–Laura Velicu; L. Cunha; N.P. Barradas; E. Alves; et al 出版日期：2021-12-28 |
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