Kinetics of Chemical Vapor Deposition of Titanium Nitride

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标题	Kinetics of Chemical Vapor Deposition of Titanium Nitride
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者：N. Popovska, S. Poscher, P. Tichy, G. Emig, and H. Ryssel 期刊：Electrochemical Society Proceedings 卷号：vol. 97, no. 25, pp. 592–596, 1997
求助人	jingshu 在 2026-09-18 10:50:04 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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