電漿輔助化學氣相沈積碳氮化矽薄膜之應力研究

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标题	[高分] 学位论文電漿輔助化學氣相沈積碳氮化矽薄膜之應力研究
网址	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/142566
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	kiki 在 2026-04-02 11:10:23 发布自江苏，悬赏 50 积分
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