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 Mechanistic Insights into the Atomic Layer Etching of GaN Using XeF2 and BCl3 相关领域
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期刊：Journal of Physical Chemistry C 作者：Chuang Wang; Yuhang Jing; Weiqi Li; Jihong Yan; Jianqun Yang; et al 出版日期：2025-09-21 |
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