Atomic layer deposition of SnO2 thin films using tin(IV) acetate as a novel precursor

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标题	Atomic layer deposition of SnO2 thin films using tin(IV) acetate as a novel precursor
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005186
DOI	10.1116/6.0005186 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Anjan Deb; Miika Mattinen; Mikko J. Heikkilä; Mykhailo Chundak; Anton Vihervaara; et al 出版日期：2026
求助人	jin 在 2026-06-18 16:20:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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